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  標  題: 高精密雷射尺寸量測防震平台
  作者: 輻騰光電股份有限公司     日期 : 09-03-23 19:08     點擊 : 4012    
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高精密雷射尺寸量測防震平台

XYZ30-3HH
(搭配花崗岩平台及防震桌腳)


用途:搭載雷射顯微鏡量測系統,進行模仁或其他微細結構量測用結構要求!


規格:
1.          量測平台基板採精密花崗石平台,需符合德國國際標準DIN 0級,具備不易變形、熱膨脹係數小之特性,確保平台長時間量測時的精度及穩定  性。
2.          避震系統:除需抑制平台自身移動之共振,降低共振頻率<2.0Hz,並有效隔絕系統週邊及其它外在因素產生的震動源,確保雷射顯微鏡高倍率(1000x以上)量測時安定性。
3.          平台自動平衡設計,確保量測水平度。
4.          X-Y axis行程 700*700mmZ axis行程 100mm
5.          X&Y&Z-axis最小移動距離1μm
6.          移動速度具備3段速度變化。三軸可多向性精密控制,操作者在高光學倍率下可做精密微調測定。
7.          荷重100Kg

(此為尺寸客製機台,若有需求,請客戶來電洽詢,謝謝!)








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